1、物質(zhì)的危險危害

　　芯片生產(chǎn)過程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫，化學(xué)品種類達(dá)80種。按照GB13690-92《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對常用危險化學(xué)品，按其主要危險特性進(jìn)行分類，該項目中使用的危險化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險危害為：

　　1)有毒有害氣體(如AsH3、PH3、SiH4、CO等)如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。

　　2)易燃液體(如丙酮、異丙醇等)如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災(zāi)爆炸。

　　3)氧化劑(如過氧化氫等)如泄漏與有機(jī)物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。

　　4)腐蝕品(如酸類、堿類等)如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。

　　這些危險有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險品的貯存、使用的危險性分析詳見化學(xué)品庫單元。

　　2、設(shè)備設(shè)施的固有危險危害

　　生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房內(nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng);特種設(shè)備有燃?xì)忮仩t、空壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機(jī)動車輛;儲存設(shè)備有儲氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險因素有：

　　1)火災(zāi)爆炸

　　油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災(zāi)、爆炸危險。

　　鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達(dá)到爆炸極限時遇點火源可引發(fā)爆炸危險。

　　2)物理爆炸

　　鍋爐、壓力容器(蒸發(fā)器、冷凝器、儲氣罐)設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當(dāng)，可引發(fā)物理爆炸。

　　3)觸電危險

　　變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運行不當(dāng)、機(jī)械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險。如出現(xiàn)短路、過載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險。

　　4)靜電危害

　　如火災(zāi)、爆炸危險環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。

　　5)高空墜落危險

　　凡2m以上各類高空作業(yè)點位，其梯、臺、道、護(hù)欄等常規(guī)性防護(hù)措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險。

　　6)車輛傷害

　　廠內(nèi)各類運輸車輛如車輛本身缺陷，或制動、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車輛傷害。

　　7)機(jī)械傷害

　　空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動設(shè)備如無防護(hù)罩或損壞，可引發(fā)機(jī)械傷害。

　　8)灼傷

　　高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會造成眼灼傷。

　　9)噪聲危險

　　空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機(jī)等設(shè)備在運轉(zhuǎn)時可產(chǎn)生噪聲危害。