本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于線寬180nm、130nm 和90nm 工藝退火硅片。