一、引言

　　眾所周知，物體內(nèi)部是帶有電荷的，而由于在一般情況下，正負(fù)電荷數(shù)量相等，對外人們覺察不到也不顯示出帶電的現(xiàn)象。我們可以用兩種不同屬性的物體相互接觸或摩擦，其中一種物體帶負(fù)電電荷的電子就會進入另一種物體內(nèi)，這樣靜電就會產(chǎn)生了。產(chǎn)生靜電的原因主要有摩擦、壓電效應(yīng)、感應(yīng)起電、吸附帶電等。根據(jù)電荷守恒定律，電荷既不能創(chuàng)生，也不能被消滅，只能是電荷的載體（電子、離子等）從一個物體移動到另一個物體，或者從一個物體的某一個部分移動到另一部分。物體帶電以后，所帶的電荷將通過放電的各種途徑不斷消散。電荷的積聚和電荷消散是同時的，當(dāng)物體上電荷的積聚和電荷的消散達到動態(tài)平衡時，物體上就出現(xiàn)穩(wěn)定的帶電現(xiàn)象，稱物體帶有靜電。在我們?nèi)粘Ｉ钪?，最為常見的如穿衣、脫衣（特別是化纖、羊毛制品）甚至空氣流動都會產(chǎn)生靜電。而靜電的電壓（強度）是由于物體的材料屬性、摩擦和相對運動能的速度、與外界環(huán)境溫度、濕度、甚至壓力都有密切的關(guān)系。而在電子設(shè)備的使用過程中，由于設(shè)備本身電子產(chǎn)品集成化程度就很高，大規(guī)模的集成電路的應(yīng)用隨著外界條件的影響很難承受靜電放電時候的危害，造成主要電子設(shè)備敏感元件的損傷，甚至造成嚴(yán)重的安全事故。本文就其危害性極其防護措施作如下分析。

　　二、靜電對電子設(shè)備的危害

　　隨著電子信息技術(shù)的迅速發(fā)展，眾多的電子設(shè)備中采用大規(guī)模的集成電路甚至超強規(guī)模的集成電路。各類整機和電子裝備內(nèi)部包含著大量的微功耗、低電平、高集成度、高電磁靈敏度的電路和元器件。這種器件被稱之為靜電敏感（ESDS）器件。它具有線間距短、線細(xì)、集成度高的特點。這類器件對靜電越來越敏感，一旦積聚有靜電荷的靜電場可以使介質(zhì)極化，在庫侖力的作用下，懸浮在空氣中的塵埃被吸附在物體上污染環(huán)境，也會影響產(chǎn)品質(zhì)量。有些在半導(dǎo)體器件塵埃吸附在芯片上，集成電路（IC）特別是超大規(guī)模集成電路（VLSI）的成品率會大大下降；另一方面，在大規(guī)模的電子設(shè)備廠房和生產(chǎn)車間，在沒有任何靜電防護措施的情況下，人在行走或搬動物體產(chǎn)生的靜電（不采?。┏^幾千伏，甚至幾萬伏。對這些器件放電，或強電強感應(yīng)，嚴(yán)重的使器件失效，輕則使器件受到損傷，或氧化膜中或鋁連線造成缺陷。常常導(dǎo)致電子設(shè)備潛在的危害，使設(shè)備或電路的可靠性降低，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。其主要危害概括起來，有以下幾點：

　　（一）靜電放電時產(chǎn)生的熱效應(yīng)可以作為點火源，引爆源，如石化業(yè)儲槽因靜電放電引燃易燃性儲存物質(zhì)造成儲槽大火；小則是電子設(shè)備各類微型電子元件，敏感電路過熱，造成電路損傷，電路性能變壞失靈如：IC芯片遭受靜電放電而引起產(chǎn)品的損害無法正常工作，亦或芯片上累積靜電造成塵粒的吸附導(dǎo)致質(zhì)量破壞。

　?。ǘ╈o電放電引起的射頻干擾，對信息化電子設(shè)備造成電噪聲、電磁干擾，使其產(chǎn)生誤動作或功能失效。強電磁脈沖及其浪涌效應(yīng)對電子設(shè)備可以造成硬損傷或軟損傷，既可以造成器件或電路的性能參數(shù)劣化或完全失效，也可以形成累積效應(yīng)，埋下潛在的危害，使電路或設(shè)備的可靠性降低。射源所產(chǎn)生離子電流量雖然很低，不易因放電引燃易燃性環(huán)境，但靜電中和效果低，且使用時須注意輻射物對電子設(shè)備人員使用者的安全。

　?。ㄈ╈o電危害源形成的強電場不僅可以電子設(shè)備效應(yīng)器件的柵氧化層擊穿或金屬化線間介質(zhì)擊穿，造成電路失效，而且對許多測試儀器和敏感器件的工作可靠性造成影響，靜電釋放出的磁效應(yīng)，引起的強電流可產(chǎn)生強磁場，干擾電子設(shè)備的正常工作。直接影響信息化設(shè)備的正常使用。