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硅單晶中氮含量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 42263-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司
發(fā)布日期: 2022-12-30
實(shí)施日期: 2023-04-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2023年02月26日
內(nèi)容摘要

本文件描述了硅單晶中氮含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。本文件適用于硼、銻、砷、磷的摻雜濃度小于1×10??20? cm??-3?(0.2%)的硅單晶中氮含量的測(cè)定,測(cè)定范圍不小于1×10??14? cm??-3?。注: 硅單晶中氮含量以每立方厘米中的原子數(shù)計(jì)。

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