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氮化鋁材料中痕量元素(鎂、鎵)含量及分布的測定 二次離子質(zhì)譜法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 42274-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 北京科技大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司 等
發(fā)布日期: 2022-12-30
實(shí)施日期: 2023-04-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2023年02月26日
內(nèi)容摘要

本文件描述了氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的二次離子質(zhì)譜測試方法。
本文件適用于氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的定量測定,測定范圍為鎂、鎵的含量均不小于1×1016 cm-3,元素含量(原子個(gè)數(shù)百分比)不大于1%。
注:氮化鋁單晶中待測元素的含量以每立方厘米中的原子個(gè)數(shù)計(jì)。

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