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本文件描述了氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的二次離子質(zhì)譜測試方法。 本文件適用于氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的定量測定,測定范圍為鎂、鎵的含量均不小于1×1016 cm-3,元素含量(原子個(gè)數(shù)百分比)不大于1%。 注:氮化鋁單晶中待測元素的含量以每立方厘米中的原子個(gè)數(shù)計(jì)。