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氮化鋁材料中痕量元素(鎂、鎵)含量及分布的測定 二次離子質(zhì)譜法

標 準 號: GB/T 42274-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 北京科技大學、中國科學院半導體研究所、有色金屬技術經(jīng)濟研究院有限責任公司 等
發(fā)布日期: 2022-12-30
實施日期: 2023-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年02月26日
內(nèi)容摘要

本文件描述了氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的二次離子質(zhì)譜測試方法。
本文件適用于氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的定量測定,測定范圍為鎂、鎵的含量均不小于1×1016 cm-3,元素含量(原子個數(shù)百分比)不大于1%。
注:氮化鋁單晶中待測元素的含量以每立方厘米中的原子個數(shù)計。

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