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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅中基硼含量的測試方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于在硅芯上沉積生長的多晶硅棒中基硼含量的測定,測定范圍:0.01×1013atoms/cm3~5×1015atoms/cm3。