本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用電容位移傳感器測定硅拋光片平整度的方法,切割片、研磨片、腐蝕片也可參考此方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量標(biāo)準(zhǔn)直徑76mm、100mm、125mm、150mm、200mm,電阻率不大于200Ω·cm厚度不大于1000μm 的硅拋光片的表面平整度和直觀描述硅片表面的輪廓形貌。