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硅外延用三氯氫硅中總碳的測定 氣相色譜法

標 準 號： YS/T 1059-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 中鍺科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司
發(fā)布日期： 2015-04-30
實施日期： 2015-10-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年05月08日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中總碳含量的氣相色譜測定方法。
本標準適用于硅外延用三氯氫硅中總碳含量的測定，測定范圍為0.00005%～0.005%。

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