本標準規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的氣相色譜測定方法。
本標準適用于硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷（包括二氯二氫硅、四氯化硅）含量的測定。測定范圍下限為0.002%。
氧化鋁生產(chǎn)專用設備熱平衡測定與計算…重有色冶金爐窯熱平衡測定與計算方法…有色金屬冶煉業(yè)綠色工廠評價導則 有…鋰硼合金化學分析方法 第1部分：鋰含…釩鋁、鉬鋁中間合金化學分析方法 第1…釩鋁、鉬鋁中間合金化學分析方法 第1…釩鋁、鉬鋁中間合金化學分析方法 第1…釩鋁、鉬鋁中間合金化學分析方法 第1…
煉鋼安全規(guī)程【作廢】煉鐵安全規(guī)程【作廢】軋鋼安全規(guī)程【作廢】煉鐵廠衛(wèi)生防護距離標準【作廢】鋼鐵及合金中碳量的測定【作廢】銅精礦【作廢】鈾礦冶設施退役環(huán)境管理技術規(guī)定石墨爐頭電極
