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硅基MEMS制造技術 以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成規(guī)范

標 準 號： GB/T 32816-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 北京大學、中機生產(chǎn)力促進中心、大連理工大學、北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限公司
發(fā)布日期： 2016-08-29
實施日期： 2017-03-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2025年01月15日
內容摘要

本標準規(guī)定了采用以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。本標準適用于基于以深刻蝕與鍵合為核心的工藝集成的加工和質量檢驗。

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