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特種氣體輸送系統(tǒng)安全運行探討

文檔作者: 楊敏杰        文檔來源: 深圳方正微電子有限公司
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更新時間: 2015年04月27日
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論述了特氣的性質(zhì)及分類,對特氣輸送系統(tǒng)的主要構(gòu)成單元:尾氣處理器、特氣氣柜/氣架、特氣分配箱/分配盤、輸送管線和特氣監(jiān)控/偵測系統(tǒng)的功能和用途進行了介紹,為避免特氣輸送系統(tǒng)出現(xiàn)泄漏,對特氣系統(tǒng)日常安全運行管理和特氣泄漏應急處理提出了建議。

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