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汽車MEMS壓力傳感器灌封工藝仿真規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號： T/NLIA 002-2021
替代情況：
發(fā)布單位： 武漢·中國光谷激光加工產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟 武漢激光學(xué)會
起草單位： 武漢大學(xué)，武漢飛恩微電子有限公司，上達(dá)電子（深圳）有限公司
發(fā)布日期： 2021-04-26
實施日期： 2021-06-01
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更新日期： 2024年10月21日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了汽車MEMS 壓力傳感器灌封工藝的仿真信息，包含了汽車MEMS 壓力傳感器灌封工藝仿真的基本流程：仿真模型構(gòu)建、仿真運(yùn)行分析、結(jié)果評價與工藝優(yōu)化等。


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