本文件規(guī)定了本征薄膜異質(zhì)結(jié)電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備（以下簡稱“PECVD設(shè)備”）的術(shù)語和定義、工作環(huán)境、設(shè)備要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、搬運(yùn)和運(yùn)輸、貯存等。
危險(xiǎn)化學(xué)品使用場(chǎng)所“六定”安全管理…超高層建筑管理企業(yè)安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化規(guī)范發(fā)電企業(yè)全員安全生產(chǎn)責(zé)任制編制導(dǎo)則企業(yè)危險(xiǎn)部位分級(jí)管理規(guī)范液化天然氣應(yīng)急供應(yīng)技術(shù)規(guī)程小型液化天然氣氣化站監(jiān)控與智能化技…白蟻防治服務(wù)單位服務(wù)能力評(píng)定農(nóng)村病媒生物可持續(xù)控制指南-蠅類
