異質(zhì)結(jié)電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): T/CPIA 0065-2024
發(fā)布單位: 中國光伏行業(yè)協(xié)會(huì)
起草單位: 中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、理想萬里暉半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司、隆 基綠能科技股份有限公司
發(fā)布日期: 2024-03-10
實(shí)施日期: 2024-03-15