半導(dǎo)體設(shè)備隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)及技術(shù)要求
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): T/CI 334-2024
發(fā)布單位: 中國(guó)國(guó)際科技促進(jìn)會(huì)
起草單位: 上海大學(xué)力學(xué)與工程科學(xué)學(xué)院、上海大學(xué)微電子學(xué)院、中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù) 物理研究所、上海衛(wèi)星工程研究所
發(fā)布日期: 2024-04-18
實(shí)施日期: 2024-04-18