本文件規(guī)定了硅外延用三氯氫硅（SiHCl 3）的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、隨行文件及訂貨單內(nèi)容。
本文件適用于以三氯氫硅為原料精制提純而制得的硅外延用三氯氫硅。