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金及金合金靶材

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 23611-2023
替代情況: 替代 GB/T 23611-2009
發(fā)布單位: 國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 有研資源環(huán)境技術(shù)研究院(北京)有限公司、深圳市眾誠達(dá)應(yīng)用材料科技有限公司
發(fā)布日期: 2023-08-06
實(shí)施日期: 2024-03-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2023年09月13日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了金及金合金靶材的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于半導(dǎo)體電子器件用金及金合金靶材。

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