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氯硅烷中碳含量的測定 氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: YS/T 987-2021
替代情況: 替代 YS/T 987-2014
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 亞洲硅業(yè)(青海)股份有限公司、青海省亞硅硅材料工程技術(shù)有限公司
發(fā)布日期: 2021-12-02
實施日期: 2022-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2022年11月26日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用法測定氯硅烷中碳雜質(zhì)含量的方法。 ?
本文件適用于氯硅烷中碳雜質(zhì)(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,統(tǒng)稱甲基氯硅烷)含量的測定,測定范圍 (質(zhì)量分?jǐn)?shù))為 0.000 010%~0.10%。

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