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本文件規(guī)定了氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用法測定氯硅烷中碳雜質(zhì)含量的方法。 ?本文件適用于氯硅烷中碳雜質(zhì)(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,統(tǒng)稱甲基氯硅烷)含量的測定,測定范圍 (質(zhì)量分數(shù))為 0.000 010%~0.10%。