本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鈧鋁合金靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則與標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于鑄造法制得的鈧鋁合金靶材，主要用于半導(dǎo)體及光電等領(lǐng)域。