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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了集成電路用高純銅合金靶材(以下簡稱靶材)的分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路制造用的高純銅鋁(CuAl)合金靶材和高純銅錳(CuMn)合金靶材。