本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了物理氣相沉積TiN薄膜的技術(shù)要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于物理氣相沉積TiN薄膜，也適用于其他方法制備的TiN薄膜。本標(biāo)準(zhǔn)也適用于其他材料沉積層（TiC，TiCN，TiAlN等）。