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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氮化鎵材料中鎂含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于氮化鎵材料中鎂含量的定量分析,測(cè)定范圍為不小于5×1014cm-3。