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晶片正面系列字母數(shù)字標(biāo)志規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號: YS/T 986-2014
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、杭州海納半導(dǎo)體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
發(fā)布日期: 2014-10-14
實施日期: 2015-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2019年06月03日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片或其他半導(dǎo)體晶片上一串連續(xù)的包括字母和數(shù)字的標(biāo)記。該編號標(biāo)記及關(guān)聯(lián)信息被儲存入數(shù)據(jù)庫,對每個硅片起到了在硅片和器件制造期間追溯和控制的目的。本標(biāo)準(zhǔn)定義了晶片標(biāo)記的基本編碼規(guī)定。無需處理晶片,利用簡單的自動光學(xué)字符識別設(shè)備就可以對該標(biāo)記進行獨立和快速人工識別,確保了硅片制造商對晶片標(biāo)記的一致性,有利于監(jiān)控晶片工藝的變化。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于廣泛的晶片產(chǎn)品,如外延片、SOI片、拋光片等等。

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