本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片或其他半導(dǎo)體晶片上一串連續(xù)的包括字母和數(shù)字的標(biāo)記。該編號標(biāo)記及關(guān)聯(lián)信息被儲存入數(shù)據(jù)庫,對每個硅片起到了在硅片和器件制造期間追溯和控制的目的。本標(biāo)準(zhǔn)定義了晶片標(biāo)記的基本編碼規(guī)定。無需處理晶片,利用簡單的自動光學(xué)字符識別設(shè)備就可以對該標(biāo)記進行獨立和快速人工識別,確保了硅片制造商對晶片標(biāo)記的一致性,有利于監(jiān)控晶片工藝的變化。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于廣泛的晶片產(chǎn)品,如外延片、SOI片、拋光片等等。