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高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: YS/T 980-2014
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 峨嵋半導(dǎo)體材料研究所、南京中鍺科技股份有限公司、廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司
發(fā)布日期: 2014-10-14
實(shí)施日期: 2015-04-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2019年05月29日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純?nèi)趸壷须s質(zhì)元素含量的測定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于高純?nèi)趸壷锈c、鎂、鈣、鈦、釩、鉻、錳、鐵、鎳、鈷、銅、鋅、錫、鉛、銦含量的測定。各元素測定范圍為1×10-6%~4×10-5%。

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