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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的分析方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于改良西門子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分(氫氣、氯化氫、三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅)的測定。本標(biāo)準(zhǔn)的檢測范圍為體積分?jǐn)?shù)0.1%~100%。