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多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: YS/T 983-2014
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司等
發(fā)布日期: 2014-10-14
實施日期: 2015-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2019年05月29日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的分析方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于改良西門子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分(氫氣、氯化氫、三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅)的測定。本標(biāo)準(zhǔn)的檢測范圍為體積分?jǐn)?shù)0.1%~100%。

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