本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了應(yīng)用掃描表面檢查系統(tǒng)對(duì)拋光片、外延片等鏡面晶片表面的局部光散射體進(jìn)行測(cè)試，對(duì)局部光散射體與延伸光散射體、散射光與反射光進(jìn)行區(qū)分、識(shí)別和測(cè)試的方法。