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硅片和硅錠載流子復合壽命的測試 非接觸微波反射光電導衰減法

標 準 號: GB/T 26068-2018
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 有研半導體材料有限公司、瑟米萊伯貿(mào)易(上海)有限公司、中國計量科學研究院、浙江省硅材料質(zhì)量檢驗中心等
發(fā)布日期: 2018-12-28
實施日期: 2019-11-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2019年04月01日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了單晶和鑄造多晶的硅片及硅錠的載流子復合壽命的非接觸微波反射光電導衰減測試方法。
本標準適用于硅錠和經(jīng)過拋光處理的N型或P型硅片(當硅片厚度大于1mm時,通常稱為硅塊)載流子復合壽命的測試。在電導率檢測系統(tǒng)靈敏度足夠的條件下,本標準也可用于測試切割或經(jīng)過研磨、腐蝕的硅片的載流子復合壽命。通常,被測樣品的室溫電阻率下限在0.05Ω·cm~10Ω·cm之間,由檢測系統(tǒng)靈敏度的極限確定。載流子復合壽命的測試范圍為大于0.1.s,可測的最短壽命值取決于光源的關斷特性及衰減信號測定器的采樣頻率,最長可測值取決于樣品的幾何條件及其表面的鈍化程度。

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