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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對TDL-GX 硅芯生長爐產(chǎn)品的型號品種規(guī)格、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、存儲以及定購和供貨等。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于高頻感應(yīng)加熱,采用基座法生長硅基發(fā)熱載體的設(shè)備。