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本標準規(guī)定了用區(qū)熔法和光譜分析法評價顆粒狀多晶硅的代位碳原子濃度、施主雜質濃度和受主雜質濃度的方法。 本標準適用于尺寸在600μm~3000μm的顆粒狀多晶硅,其他尺寸的顆粒狀多晶硅可參照本標準執(zhí)行。