本標準規(guī)定了化學(xué)氣相沉積爐的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書和合同（或訂貨單）內(nèi)容。本標準適用于化學(xué)氣相沉積。