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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金鈹合金蒸發(fā)料的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單(或合同)內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用金鈹合金蒸發(fā)材料。