本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了測(cè)定硅外延層和擴(kuò)散層厚度的磨角染色法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于外延層和擴(kuò)散層與襯底導(dǎo)電類型不同或兩層電阻率相差至少一個(gè)數(shù)量級(jí)的任意電阻率的硅外延層和擴(kuò)散層厚度的測(cè)量，測(cè)量范圍：1μm～100μm。