本標準規(guī)定了直徑200mm硅外延片的術(shù)語和定義、產(chǎn)品分類、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書等。
本標準適用于在N型和P型硅拋光襯底片上外延生長的硅外延片。產(chǎn)品主要用于制作集成電路或半導體器件。