本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了直徑200mm硅外延片的術(shù)語和定義、產(chǎn)品分類、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于在N型和P型硅拋光襯底片上外延生長(zhǎng)的硅外延片。產(chǎn)品主要用于制作集成電路或半導(dǎo)體器件。