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鈦蒸發(fā)料

標(biāo) 準(zhǔn) 號: YS/T 1141-2016
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 有研億金新材料有限公司等
發(fā)布日期: 2016-07-11
實施日期: 2017-01-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2017年09月26日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鈦蒸發(fā)料的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與合同(或訂貨單)內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鈦蒸發(fā)料。    

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