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氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 32188-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中國科學(xué)院物理研究所
發(fā)布日期： 2015-12-10
實(shí)施日期： 2016-11-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年04月07日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用雙晶 X射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)氣相沉積及其他方法生長制備的氮化鎵單晶襯底片。

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