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本標準規(guī)定了平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及訂貨單(或合同)內(nèi)容。 本標準適用于平面磁控濺射光學(xué)薄膜用鈮靶材。