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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純銅濺射靶材的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書(shū)及合同(或訂貨單)內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜制造用的各類(lèi)高純銅濺射靶材。