本標準規(guī)定了電子薄膜用高純銅濺射靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存、質(zhì)量證明書及合同（或訂貨單）內(nèi)容。
本標準適用于電子薄膜制造用的各類高純銅濺射靶材。