硅基MEMS制造技術(shù) 體硅溶片工藝規(guī)范
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 28276-2012
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、北京大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
發(fā)布日期: 2012-05-11
實(shí)施日期: 2012-12-01