本標準規(guī)定了硅基MEMS加工過程中所涉及的微小鍵合區(qū)域鍵合強度檢測的要求和試驗方法。
本標準適用于采用微電子工藝及相關微細加工技術制造的微小鍵合區(qū)的剪切和拉壓強度測試。
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