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本文件規(guī)定了監(jiān)測計劃的基本要求。這個監(jiān)測計劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù),監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。 本文件適用于粒徑0.1 um~5um粒子濃度的監(jiān)測。