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潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分:潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 25915.2-2021
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 陜西中電精泰電子工程有限公司、派歐尼爾環(huán)境凈化工程(北京)有限公司等
發(fā)布日期: 2021-08-20
實(shí)施日期: 2022-03-01
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更新日期: 2022年01月27日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了監(jiān)測計(jì)劃的基本要求。這個監(jiān)測計(jì)劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù),監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。
本文件適用于粒徑0.1 um~5um粒子濃度的監(jiān)測。

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