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潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

標 準 號: GB/T 25915.12-2021
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位: 中天道成(蘇州)潔凈技術(shù)有限公司、中國電子工程設(shè)計院有限公司
發(fā)布日期: 2021-10-11
實施日期: 2022-05-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2022年01月27日
內(nèi)容摘要

本標準給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1微米(100nm)的納米尺度粒子濃度的技術(shù)要求。

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