本文件給出了納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與選址勘察、設(shè)計(jì)要求等。
本文件適用于納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與設(shè)計(jì)。
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