本部分規(guī)定了用于定期驗證和調整區(qū)域法表面結構測量儀器的實物測量標準的特性。
本部分適用于基于區(qū)域法表面結構標準鏈，鏈環(huán)G定義的輪廓表面結構和區(qū)域表面結構測量儀器的計量特性校準的測量標準。
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