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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四種常用的四極質(zhì)譜檢漏方法實(shí)施的一般要求,每種檢漏方法在應(yīng)用對(duì)象、系統(tǒng)組成、檢漏程序等方面的要求以及對(duì)檢漏文件的要求。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空行業(yè)以及其他行業(yè)中采用四極質(zhì)譜儀進(jìn)行的泄漏檢測(cè)工作,適用于部組件級(jí)、分系統(tǒng)級(jí)以及系統(tǒng)級(jí)產(chǎn)品的密封性能測(cè)試。