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全方位離子注入與沉積制備類(lèi)金剛石碳膜 技術(shù)條件

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): QJ 20505-2016
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家國(guó)防科技工業(yè)局
起草單位: 國(guó)營(yíng)一四九廠(chǎng)
發(fā)布日期: 2016-01-19
實(shí)施日期: 2016-03-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年12月28日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了全方位離子注入與沉積技術(shù)制備的類(lèi)金剛石碳膜的質(zhì)量要求、質(zhì)量保證規(guī)定和包裝、貯存和運(yùn)輸及技術(shù)安全及環(huán)境保護(hù)要求。

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