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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了SPM 漂移速率的術(shù)語和定義、縮略語、測量步驟、性能參數(shù)規(guī)格,及基于SPM 掃描圖像的漂移速率測量基本方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測量。本標(biāo)準(zhǔn)中的漂移測量不適用于圖像校正。