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磁控濺射設(shè)備通用技術(shù)條件
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào):
SJ/T 10478-1994
替代情況:
發(fā)布單位:
電子工業(yè)部
起草單位:
電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究
發(fā)布日期:
1994-04-11
實(shí)施日期:
1994-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期:
2024年08月20日
內(nèi)容摘要
本標(biāo)準(zhǔn)適用于磁控濺射設(shè)備(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“設(shè)備”)。
上一篇:
導(dǎo)絲焊接設(shè)備通用技術(shù)條件
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安全標(biāo)準(zhǔn)
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