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本文件規(guī)定了半絕緣型碳化硅(SiC)單晶襯底的術(shù)語、分類、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸、貯存等。 本文件適用于經(jīng)拋光后制備的Φ50.8 mm,Φ76.2 mm,Φ100.0mm,Φ150.0 mm 半絕緣型 SiC 襯底,晶型為 4H。