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本文件規(guī)定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅(SiC)襯底的術(shù)語、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲存。適用于經(jīng)拋光后制備的Φ150mm n 型 SiC 襯底,晶型為 4H。