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功率器件用Φ150 mm n型碳化硅襯底

標(biāo) 準(zhǔn) 號: SJ/T 11865-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院 等
發(fā)布日期: 2022-09-30
實(shí)施日期: 2023-01-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2023年10月23日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅(SiC)襯底的術(shù)語、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲存。適用于經(jīng)拋光后制備的Φ150mm n 型 SiC 襯底,晶型為 4H。

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