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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了軍用集成電路圓片砂輪劃片工藝的一般要求和劃片工藝所使用的原材料、設(shè)備、工藝流程、關(guān)鍵控制點(diǎn)及檢驗(yàn)的詳細(xì)要求。